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廢氣檢測四氟化硅作為生產(chǎn)多晶硅及其衍生物的原料,隨著電子工業(yè)的發(fā)展以及硅基產(chǎn)業(yè)的擴大,對于四氟化硅的需求量逐漸增加。
廢氣檢測四氟化硅用途
高純電子級四氟化硅(SiF4)作為電子工業(yè)重要原料之一,具有較高的氟硅比,被廣泛應用于光纖、半導體或太陽能電池的生產(chǎn),是電子產(chǎn)業(yè)核心制造業(yè)的基礎。
1.高純四氟化硅是電子和半導體行業(yè)中重要的電子特氣之一,主要用于硅化鉭、氮化硅等的蝕刻劑、P型摻雜劑及外延沉積擴散硅源,還可以用于制備電子級硅烷或多晶硅。
2.由于四氟化硅在高溫火焰中水解可以產(chǎn)生具有高比表面積的熱沉SiO2.還可以用于制作光導纖維用高純石英玻璃。
3.在光纖生產(chǎn)技術中,四氟化硅是制造硅基半導體器件時所采用的離子注入法的重要成分。
4.四氟化硅還廣泛應用于生產(chǎn)水泥、電子材料、太陽能電池元件、復印機感光鼓、特大規(guī)模集成電路等產(chǎn)業(yè) 。
廢氣檢測隨著激光在有機反應應用的發(fā)展,四氟化硅在光敏劑產(chǎn)業(yè)也得到了越來越廣泛應用。更多內(nèi)容可關注網(wǎng)站:http://m.edykw.com/